Конуси на йонен лъч

Конусите на йонен лъч SIKAIDA са основни компоненти на системите за имплантиране и предаване на йонен лъч. Изработени от усъвършенствани керамични материали с висока чистота и обработени чрез прецизно леене под налягане и синтероване при висока температура, те се отличават с изключително ниско съдържание на примеси, устойчивост на висока температура и стабилна точност на размерите. Те могат да бъдат обработени в сложни геометрии, за да отговорят на изключително високи изисквания за толерантност, което ги прави подходящи за процеси на имплантиране на високоефективни полупроводникови йони.

Като професионален производител в Китай, SIKAIDA предоставя надеждни, рентабилни и адаптивни йонно-лъчеви конуси на клиенти по целия свят в областта на полупроводниците, дисплеите с плосък панел, оптиката, микроелектромеханичните системи (MEMS) и слънчевата енергия. SIKAIDA е надежден дългосрочен доставчик и специализиран производствен завод за високотехнологични компоненти за процеси с йонен лъч.

Материали и производство

1. Материали

Конусите с йонен лъч използват материали, включително двуалуминиев оксид (Al₂O₃) с чистота ≥99,9%, силициев нитрид (Si3N₄) с чистота ≥99,5%, циркониев оксид (ZrO₂) с чистота ≥99,8% и стопен силициев диоксид (99,999%). Всички материали отговарят на строгите стандарти за чистота на полупроводниковата индустрия и са подходящи за изискванията за производителност на различни приложения.

2. Производствен процес

Производственият процес включва прецизно леене под налягане, синтероване при висока температура, CNC прецизна обработка, полиране на ниво огледало и автоматизирано почистване и тестване. Всеки процес е строго контролиран за прецизност и качество, за да се гарантира, че крайният продукт отговаря на индустриалните стандарти и изискванията на клиентите.

Ключови параметри на продукта

1. Точност на размерите

Конусите на йонния лъч имат допуски, контролирани в рамките на ±0,05 mm, грапавост на повърхността Ra≤0,4 μm, точност на конус на вътрешния отвор ±0,02 mm, коаксиалност ≤0,03 mm и перпендикулярност ≤0,02 mm. Тази изключително висока точност на размерите ефективно гарантира прецизността на предаването на йонен лъч.

2. Повърхностна обработка

Повърхностните обработки включват механично полиране за огледално покритие, UV-втвърдени покрития за подобряване на свойствата на повърхността, устойчиви на надраскване покрития за подобряване на устойчивостта на износване и киселинно ецване и пасивиране за отстраняване на примесите и подобряване на стабилността. Подходящите методи за лечение могат да бъдат избрани въз основа на изискванията на приложението.

3. Индикатори за ефективност

Конусите с йонен лъч работят в температурен диапазон от -196 ℃ до +800 ℃, осигурявайки стабилна работа при екстремни температурни среди. Те притежават обемно съпротивление ≥10¹⁴Ω·cm и повърхностно съпротивление ≥10¹²Ω, показвайки отлични изолационни свойства. Те също така притежават изключителна устойчивост на плазмена и химическа корозия, което им позволява да се адаптират към сложни процеси.

Основни предимства

1. Свръхвисока чистота: Чистотата на суровината надвишава 99,9%, минимизирайки замърсяването на полупроводниковите пластини, осигурявайки стабилна електрическа работа на устройствата и отговаряйки на строгите изисквания за чистота при производството на полупроводници.

2. Изключително висока геометрична точност: Осигурява постоянни размери на продукта по време на масово производство, с грешка на конусност, контролирана в рамките на ±0,05 mm и грешка на закръгленост ≤0,02 mm, точно съответстваща на изискванията за инсталиране и използване на системите за предаване на йонен лъч.

3. Огледално качество на повърхността: грапавост на повърхността Ra≤0.4μm, ефективно намаляване на разсейването на йонния лъч, подобряване на равномерността на предаването на йонния лъч и допълнително оптимизиране на точността на имплантиране на полупроводникови устройства.

4. Стабилност в широк температурен диапазон: Работи стабилно в дълбоки криогенни до високотемпературни среди. Материалът има изключително нисък коефициент на топлинно разширение, като поддържа отлична стабилност на размерите дори при температурни промени, предотвратявайки въздействието върху производителността от температурни колебания.

5. Отлична изолация и устойчивост на корозия: Ефективно предотвратява натрупването на заряд по време на предаване на йонен лъч и издържа на силни киселини, силни основи и различни плазмени корозии, осигурявайки дългосрочна стабилна работа в сложни процеси.

Персонализирани услуги

Моделите и размерите на продуктите могат да бъдат персонализирани според изискванията на различни процеси. Поддържаните формати на чертежи включват STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF и физически проби. По отношение на времето за доставка, доставката на проби е 4-7 седмици, а доставката на партиден продукт е 8-12 седмици. Нашата система за качество отговаря на стандартите ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH и SEMI, като цялостно гарантира качеството на продукта и ефективността на доставката.

Области на приложение

Конусите с йонен лъч се използват широко в множество области, включително йонни имплантатори в производството на полупроводници, оборудване за обработка в дисплеи с плосък панел, системи за отлагане на йонен лъч (IBD) и ецване с йонен лъч (IBE) в производството на оптични устройства, производство на микроелектромеханични системи (MEMS), йонно легиращо оборудване за слънчеви клетки и процеси на йонно имплантиране за силови полупроводникови устройства като напр. биполярни транзистори с изолиран затвор (IGBT) и мощни MOSFET транзистори.

Често задавани въпроси:

Q1: Какви материали обикновено се използват в йонно-лъчевите конуси?

A1: Ние използваме предимно усъвършенствани керамични материали като алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃), силициев нитрид (Si₃N₄) и циркониев оксид (ZrO₂). Тези материали притежават изключително висока чистота, отлична устойчивост на висока температура и стабилни електрически свойства.

Q2: Може ли UET да предостави персонализирани спецификации и повърхностни обработки? 

A2: Да. UET може да персонализира размера, конусността, вида на материала и повърхностната обработка на конусите според изискванията на вашия процес. Ние имаме богат производствен опит и можем да отговорим на специфичните изисквания на клиентите за приложение.

Q3: Как се гарантира прецизността и качеството на конусите с йонен лъч?

A3: Ние приемаме системата за управление на качеството ISO9001:2015 и сме оборудвани с високо прецизно оборудване за изпитване, включително машина за измерване на координати, тестер за грапавост на повърхността и рентгенов флуоресцентен спектрометър, за да гарантираме, че всяка партида продукти отговаря на строги индустриални стандарти.

Q4: Какъв е цикълът на доставка?

A4: Цикълът на доставка на пробата е 4-7 седмици, а цикълът на доставка на партиден продукт е 8-12 седмици. Конкретният цикъл зависи от сложността на продукта и количеството на поръчката.